В России заменили американский лазер для литографии на отечественный аналог

Новосибирская компания «Оптические технологии» представила инновационную лазерную систему для создания фотошаблонов микросхем с применением ультрафиолетового излучения. Это уникальное решение на российском рынке, которое будет достойной заменой импортным лазерам Coherent с длиной волны 257 нанометров.

«Мы заменяем американские лазеры Coherent на 257 нанометров, и всё оборудование, включая фоторезисторы, оптимизировано для работы с этой длиной волны. Подобных лазеров в России не существует, поскольку они являются высокоспециализированными», — поделился представитель с ТАСС.

Разработанная отечественная система представляет собой сложный программно-аппаратный комплекс, который включает лазер, усилитель (повышающий мощность лазера до 15 Вт) и специальный кристалл для изменения частоты лазерного излучения.

Предсерийная версия прототипа в настоящее время проходит испытания на белорусском заводе «Планар».

Источник: iXBT