В Зеленограде создают «чистую комнату» для запуска первой отечественной установки металлизации чипов

ГК «Элемент» приступает к созданию инфраструктуры для запуска первой в стране промышленной системы вакуумного напыления алюминия. Для реализации столь технологичного проекта возводятся специализированные чистые помещения, оснащенные инженерными сетями, отвечающими бескомпромиссным стандартам микроэлектронного производства.

Проектные работы доверены компании «Системные решения», выигравшей тендер НИИ молекулярной электроники (НИИМЭ). Сумма сделки оценивается в 21 млн рублей. Испытательный комплекс развернется в Зеленограде на площади 350 м². Параллельно Минпромторг взял на себя финансирование разработки самого аппарата: на 2026 год в бюджет заложено порядка 2 млрд рублей.

Цель инициативы — создание отечественной альтернативы решениям от мировых лидеров отрасли, таких как Applied Materials и Evatec. Установка позволит выпускать микрочипы по топологическим нормам 180–90 нм на 200-миллиметровых подложках полностью на российской технологической базе. Система предназначена для напыления пленок алюминия, титана и его нитрида, необходимых для формирования проводящих слоев и защитных барьеров микросхем.

Технологические процессы такого уровня требуют филигранного контроля над внешней средой. Проектом предусмотрено зонирование: основной производственный участок, блок контроля параметров и сервисные помещения для инженерных коммуникаций. Ключевая зона должна соответствовать классу чистоты ISO 6, а вспомогательные площади — ISO 8.

В этих помещениях обеспечиваются строго заданные условия: высокоэффективная очистка воздуха от частиц до 0,3 мкм, термостабилизация на уровне +22 ±2 °C, влажность в пределах 50% и минимизация вибрационного фона до 6 мкм/с. Инфраструктура также включает системы бесперебойного энергоснабжения, подачу специализированных чистых газов, контуры охлаждения и защиту от электромагнитных воздействий с непрерывным мониторингом показателей.

Специалисты подчеркивают, что строительство «чистых комнат» остается одной из самых капиталоемких и технически трудных задач в российской микроэлектронной индустрии. По сведениям из отрасли, несмотря на вектор на импортозамещение, комплектующие для инженерных систем зачастую приходится приобретать в КНР из-за санкционных ограничений на поставки западной продукции.

Данный инфраструктурный проект является важным этапом создания восьмимодульной вакуумной установки, оснащенной двумя роботизированными манипуляторами для манипуляций с кремниевыми пластинами. Полный ввод оборудования в эксплуатацию намечен на конец сентября 2030 года.

Источник: iXBT