В России создают первую восьмимодульную кластерную установку для магнетронного напыления микросхем

Ведущие отраслевые институты НИИТМ и НИИМЭ, входящие в структуру ГК «Элемент», инициировали разработку уникального для отечественного рынка кластерного комплекса. Восьмимодульная система предназначена для вакуумного нанесения алюминиевой металлизации при производстве интегральных схем с топологическими нормами 180–90 нм на 200-мм полупроводниковых пластинах. Соответствующей информацией поделились представители пресс-службы ГК «Элемент».

Изображение предоставлено пресс-службой ГК «Элемент»

Проект, реализуемый при поддержке Минпромторга РФ, является частью государственной стратегии по развитию электронного машиностроения до 2030 года. Финализация всех этапов работ и презентация готового решения запланированы на сентябрь 2030 года.

Инженеры выделяют особую архитектуру транспортной системы: использование двух распределительных модулей и буферной камеры позволяет поддерживать глубокий вакуум и гарантирует безупречное качество наносимых пленок. Высокую пропускную способность комплекса обеспечат два современных роботизированных манипулятора. Модульный принцип построения дает гибкость при перенастройке оборудования под новые производственные циклы, а дублирование функциональных узлов позволит проводить сервисное обслуживание без остановки основного технологического процесса.

В рамках кооперации коллектив НИИТМ возьмет на себя проектирование, создание опытных образцов и проведение испытаний. Специалисты НИИМЭ сконцентрируются на формировании технических регламентов и проверке технологических процессов. Как отметил генеральный директор НИИМЭ Александр Кравцов, данная установка обладает серьезным потенциалом как на внутреннем, так и на международном рынках. Генеральный директор НИИТМ Михаил Бирюков добавил:

Появление российского кластерного комплекса для магнетронного напыления алюминиевых слоев, отвечающего передовым индустриальным стандартам, станет фундаментом для дальнейшего прогресса отечественной микроэлектроники. Создание оборудования такого уровня сложности с восемью технологическими модулями — это амбициозный вызов, требующий решения целого ряда комплексных научно-технических задач.

Источник: iXBT