В России разработают первый промышленный электронный микроскоп для выпуска чипов взамен установок Hitachi

Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) реализует проект по созданию первого отечественного промышленного сканирующего электронного микроскопа формата CD-SEM, ориентированного на технологический контроль при выпуске интегральных схем. Согласно информации от издания CNews, Министерство промышленности и торговли уже подписало с предприятием соответствующее соглашение на сумму 2,37 млрд рублей. Инициатива реализуется в рамках опытно-конструкторской работы «Инспектор», а окончательное завершение намечено на середину лета 2030 года.

Разрабатываемый комплекс ориентирован на проведение бесконтактного анализа полупроводниковых пластин размером 100, 150 и 200 мм. Дебютный прототип будет адаптирован под пластины диаметром 200 мм, поскольку этот типоразмер до сих пор востребован на отечественных заводах, выпускающих чипы по проверенным зрелым техпроцессам.

Ключевое назначение оборудования — прецизионная диагностика критических топологических норм микросхем. Устройство обеспечит мониторинг ширины токопроводящих дорожек, геометрии контактных окон, шага между элементами и микрошероховатости краев структур. Перечисленные параметры определяют процент выхода годных кристаллов и общую надежность готовой полупроводниковой продукции.

Создаваемый комплекс призasen заместить японские диагностические системы Hitachi CD-SEM S-9380 и CG4000, поставки которых прекратились вследствие санкционных ограничений. На сегодняшний день, по сведениям CNews, прямые российские аналоги подобной промышленной техники на рынке отсутствуют.

В соответствии с проектной документацией, практически вся элементная база и функциональные модули — от электронной пушки и оптической колонны до вакуумного блока, робота-загрузчика, управляющей электроники и софта — должны иметь отечественное происхождение. Применение импортных комплектующих разрешено лишь как крайняя мера после официального одобрения профильным ведомством. Условия договора регламентируют показатель наработки на отказ на отметке не менее 1000 часов при общем эксплуатационном ресурсе комплекса от десяти лет.

ЗНТЦ обладает профильной экспертизой в данной сфере. Ранее организация продемонстрировала отечественный полупроводниковый литограф с разрешающей способностью 350 нм, а также спроектировала установку электронно-лучевой литографии с проектными нормами 150 нм, которая в настоящее время проходит этап квалификационных испытаний.

Источник: iXBT