Молодая компания из Невады — Reno Sub-Systems — сообщила о проведении третьего раунда сбора средств (Series C) на перспективные разработки. А занимается Reno Sub-Systems интересным. Она создаёт устройства согласования для управления плазменной дугой в системах проекции для литографического производства полупроводников (RF matching networks). Также Reno Sub-Systems разрабатывает и выпускает генераторы мощности для работы с плазмой (RF power generators) и системы подачи газа, в среде которого зажигается и работает плазменная дуга.
Типичный вакуумный подстраиваемый конденсатор
Все перечисленные выше вещи важны для стабильной работы литографических сканеров при производстве 14-нм чипов, будущих 7-нм и с меньшими нормами производства. Передовые сканеры оперируют слоями напыления толщиной в один атом. Любая нестабильность или рассогласование приведёт к росту уровня брака. Системы Reno Sub-Systems обещают высокую скорость реакции блока управления плазмой и достаточно компактны для встраивания в сканеры.
Полупроводниковый подстраиваемый конденсатор Reno Sub-Systems
В основе систем подстройки компании Reno Sub-Systems лежит старый добрый переменный вакуумный конденсатор, предложенный 120 лет назад Николой Тесла. В сороковые годы прошлого века переменные вакуумные конденсаторы получили толчок к развитию, но даже усовершенствованные современные модели могут похвастаться скоростью регулировки на уровне 1–3 секунд. Инженеры Reno Sub-Systems разработали уникальный твердотельный переменный конденсатор Electronically Variable Capacitor (EVC) с перестройкой ёмкости за 10 мкс и автоподстройкой менее 500 мкс. Именно эта разработка позволила создать передовые системы подстройки для работы с плазмой в современных и будущих литографических сканерах.
Наглядно о разности в скорости реакции вакуумных и полупроводниковых подстраиваемых конденсаторов Reno Sub-Systems
По сообщению Reno Sub-Systems, в компанию инвестировали три из пяти крупнейших производителей полупроводников и два из четырёх крупнейших поставщиков соответствующего литографического оборудования. А сбор средств в рамках последнего раунда продажи акций привлёк деньги компаний Samsung, Intel и SK Hynix, что говорит о хороших перспективах как для Reno Sub-Systems, так и для создаваемого ею оборудования.
Источник:
Источник: 3DNews
