Samsung Display рассчитывает использовать для изготовления OLED-панелей на подложках Gen 8.5 вертикальное осаждение

По данным источника, Samsung Display попробует перейти к вертикальному нанесению органического материала при производстве OLED-панелей для планшетов, ноутбуков и мониторов с использованием подложек Gen 8.5. Как утверждается, в разработке оборудования, необходимого для этого процесса, южнокорейский производитель дисплеев сотрудничал с японской компанией ULVAC.

Использование подложек Gen 8.5 (2200 x 2500 мм) в производстве панелей для планшетов, ноутбуков и мониторов экономически более выгодно по сравнению с использованием подложек Gen 6 (1500 x 1850 мм), которые в настоящее время используются для производства OLED-панелей для смартфонов. На одной подложке Gen 6 получается изготовить 48 панелей размером 13,3 дюйма, тогда как на подложке Gen 8.5 — 96 таких панелей.

Вертикальный метод осаждения заключается в том, что стеклянная подложка стоит вертикально и органический материал из газовой фазы осаждается на нее сбоку. Для подложек Gen 6 в основном используется метод горизонтального осаждения, когда подложка размещается горизонтально, а органический материал осаждается на нее снизу. В Samsung Display хотят перейти к вертикальному методу, поскольку он сводит к минимуму провисание маски, используемой при осаждении.

Маски из тонкого металла, используемые при осаждении, при горизонтальном методе со временем неизбежно провисают в центре под действием силы тяжести. Если располагать подложку и маску вертикально, провисания нет будет.

Однако оборудование для вертикального напыления еще не используется в массовом производстве. Одна из причин заключается в том, что вертикальное осаждение требует более высоких температур, которые могут вызвать изменение характеристик органического материала. В 2017 году компания Applied Materials поставила японской компании JDI несколько комплектов, которые использовались для производства OLED-панелей для Apple Watch. Однако их производительность составляла всего 2000 подложек Gen 6 в месяц.

Оборудование для работы с подложками Gen 8.5 для Samsung Display, вероятно, будет разработано японской компанией Canon Tokki, которая в настоящее время является эксклюзивным поставщиком оборудования для вертикального напыления на подложки Gen 6 для Samsung Display.