Проект «Цитадель»: к 2030 году в России создадут отечественную установку молекулярно-лучевой эпитаксии

Министерство промышленности и торговли РФ подписало соглашение объемом 1,475 млрд рублей с санкт-петербургским предприятием «Научное и технологическое оборудование» (SemiTEq). В рамках опытно-конструкторской работы «Цитадель» подрядчик должен спроектировать и собрать действующий прототип комплекса молекулярно-лучевой эпитаксии к концу октября 2030 года.

Аппаратно-технологический комплекс создается для синтеза монокристаллических слоев и гетероструктур на базе соединений индия, алюминия, галлия и мышьяка (InAlGaAs). Подобные полупроводниковые материалы востребованы при изготовлении передовой компонентной базы для оптоэлектроники и систем сверхвысоких частот.

Спецификация предусматривает работу с подложками диаметром 76 и 100 мм. Техпроцесс рассчитан на параллельную загрузку как минимум пяти пластин первого типоразмера либо трех — второго.

Приоритетным условием соглашения выступает глубокое импортозамещение. Ключевые узлы — включая вакуумные модули, насосные агрегаты, молекулярные источники, арматуру, управляющие контроллеры и специализированный софт — должны быть разработаны и произведены в России. Применение иностранных критических компонентов допускается лишь в исключительных случаях с прямого одобрения профильного ведомства.

В настоящее время на внутреннем рынке отсутствуют прямые эквиваленты такого оборудования. Создаваемый комплекс «Цитадель» призван заменить широко применяемые в промышленности зарубежные системы — французскую Riber 49 и американскую Veeco GEN200.

Исполнитель проекта, компания «НТО», работает с 2001 года и обладает солидной экспертизой в сегменте специализированного оборудования для электронной индустрии: в ее портфеле уже есть линейка эпитаксиальных комплексов, включая решения для пластин диаметром до 150 мм.

Вместе с тем текущее соглашение сфокусировано исключительно на этапе опытно-конструкторских работ: исполнителю предстоит выпустить комплект рабочей конструкторской документации и собрать головной экземпляр. Вопрос о переходе к серийному выпуску пока остается открытым.

Источник: iXBT