LG начала продажи собственного литографа за $2 млн: без фотошаблонов и с точностью до 1,5 мкм

Научно-производственный центр LG (LG PRI) приступил к коммерческой реализации передового комплекса прямой лазерной литографии сверхвысокого разрешения (LDI). Пилотными покупателями инновационного оборудования выступили компания LG Innotek и ведущий зарубежный изготовитель печатных плат.

Цена одного аппарата достигает порядка $2 млн. Представители LG отмечают, что несмотря на недавний запуск серийного выпуска, предприятие уже ведет активные переговоры с потенциальными заказчиками и развивает совместные технологические инициативы.

Ключевым достоинством новинки является полное исключение традиционных фотошаблонов. Проекция рисунка осуществляется ультрафиолетовым лазером, который экспонирует схему напрямую на заготовку. Подобная архитектура радикально ускоряет предпроизводственный этап, облегчает корректировку топологии и уменьшает общие затраты, что особенно актуально для мелкосерийного выпуска.

Согласно технической документации, установка формирует элементы микрометрового диапазона от 1,5 до 3 мкм. Для достижения максимальной прецизионности задействован запатентованный комплекс RTAC (Real-Time Active Compensation), динамически нивелирующий тепловые и механические деформации основы в процессе засветки. Это обеспечивает стабильное функционирование с крупногабаритными подложками габаритами до 600 × 600 мм.

Современное оборудование ориентировано на изготовление новейших полупроводниковых платформ и коммутационных слоев (RDL). Комплекс совместим с широким спектром подложек — от стандартных текстолитовых плат до кремниевых пластин и инновационных стеклянных носителей. В планах LG интеграция установки в передовые цепочки по созданию передовых типов микросхемной упаковки, включая архитектуры FoCoS и CoPoS.

Источник: iXBT