В России разработают отечественный микроскоп для производства микрочипов за 2,4 млрд рублей взамен оборудования Hitachi

Министерство промышленности и торговли направило 2,4 млрд рублей на создание передового отечественного сканирующего электронного микроскопа, предназначенного для контроля критических параметров полупроводниковых пластин. Как сообщает CNews, ссылаясь на данные площадки госзакупок, проект призван заместить импортные аналоги от японской корпорации Hitachi, поставки которых оказались под запретом из-за санкционных ограничений.

Разрабатываемый промышленный CD-SEM-микроскоп обеспечит высокоточный метрологический контроль пластин диаметром 100, 150 и 200 мм, при этом выпуск опытного образца сфокусирован на стандарте 200 мм. Оборудование позволит проводить неразрушающие измерения геометрических характеристик микросхем: оценивать топологические размеры, включая ширину проводников, диаметр контактных площадок и иные ключевые параметры микроструктур.

В технической документации в качестве эталонных образцов для сопоставления указаны модели Hitachi CD-SEM S-9380 и CG4000. Важным условием проекта является полная технологическая независимость: ключевые узлы — от электронной колонны и пушки до вакуумных систем, механизмов автоматической загрузки, контроллеров и специализированного ПО — должны быть спроектированы и произведены в России. Применение зарубежных комплектующих возможно лишь в крайних случаях по спецразрешению Минпромторга. Завершение опытно-конструкторских работ запланировано на июнь 2030 года.

Источник: iXBT