Заместитель министра промышленности и торговли России Василий Шпак в интервью CNews заявил, что первый отечественный лазер для литографии будет доступен после 2026 года. Таким образом, Россия станет третьей страной в мире, производящей такие устройства. В настоящее время подобные лазеры выпускают только японская GigaPhoton и американская Cymer.
На текущий момент группа компаний «Лассард» разработала два экспериментальных образца лазера. Испытания начнутся в следующем году, а серийное производство запланировано на 2026 год. Отечественный лазер будет применяться в литографах для изготовления 350-нанометровых чипов, с последующим переходом на техпроцесс 130 нм. Кроме того, идет работа над освоением более тонких технологических норм.
«Лазер позволяет улучшать параметры в сторону уменьшения топологии. Более того, у нас уже ведется работа на перспективу, мы разрабатываем материалы и заказываем работы для установок 90 нм и 65 нм», — отметил Василий Шпак.
Источник: iXBT
