Китай представил литографические установки нового поколения собственной разработки
Компания Shanghai Microelectronics Equipment (SMEE) показала новое поколение установок сухой литографии на 9-й Китайской международной выставке импортных товаров. Эта разработка стала очередным шагом в реализации китайской стратегии импортозамещения в производстве полупроводникового оборудования. Платформа основана на собственной унифицированной архитектуре и предназначена для работы с двумя технологическими процессами: I-line и KrF. По заявлению SMEE, компания самостоятельно разрабатывает...









