В России создают первую восьмимодульную кластерную установку для магнетронного напыления микросхем
Ведущие отраслевые институты НИИТМ и НИИМЭ, входящие в структуру ГК «Элемент», инициировали разработку уникального для отечественного рынка кластерного комплекса. Восьмимодульная система предназначена для вакуумного нанесения алюминиевой металлизации при производстве интегральных схем с топологическими нормами 180–90 нм на 200-мм полупроводниковых пластинах. Соответствующей информацией поделились представители пресс-службы ГК «Элемент». Изображение предоставлено пресс-службой ГК «Элемент» Проект, реализуемый при...








