Как это сделано: Оптика для EUV/BEUV литографии
Все чаще в обсудениях, посвященных внедрению все более мелких техпроцессов изготовленя СБИС, всплывает тема рентгеновской литографии. Тема довольно сложная, и запутанная, особенно если обсуждать вопрос «кто кого родил — Cymer или ASML. Но этот пост совершенно не про историю.
Так уж получилось,что последние 20 с лишним лет я занимаюсь исследованием и изготовлением многослойных периодических покрытий, являющихся ключевым элементом многих рентгенооптических приборов, включая EUV степперы, активно внедряемые в производство. Вот об особенностях изготовленя таких покрытий я и хочу рассказать.
Похожие статьи
Торговцы воздухом: как вернуть человечеству его знания
Почему нейросети усложняют простое и упрощают сложное — и при чём здесь Шерлок Холмс
Растение не может спрятаться от солнца, поэтому изобрело феруловую кислоту
Восстание машин откладывается: почему интеллект без собственных целей ещё не разум
В языковую модель внедрили «мысль»: что выяснилось за год проверок и когда она её замечала
Новый тип аккумуляторов набирает популярность благодаря способности сохранять сверхвысокую температуру
Введение в глубокое обучение. Часть 3
Искусственный интеллект как инструмент контроля: как государства, спецслужбы и мошенники управляют вашим сознанием