Многие пользователи знают компанию Corning как ведущего производителя защитного стекла для мобильных устройств. Однако на этот раз Corning представила принципиально новый продукт.
Корпорация анонсировала инновационный материал с ультранизким коэффициентом расширения, разработанный для работы в условиях растущей мощности будущих литографических систем Low-NA и High-NA EUV.
Новый материал, получивший название Extreme ULE, предназначен для применения в фотошаблонах и литографических зеркалах нового поколения.
Основным преимуществом материала Extreme ULE является его крайне низкое тепловое расширение, что гарантирует исключительную однородность для фотошаблонов. Также, как отмечено в пресс-релизе, высокая плоскостность и однородность стекла значительно уменьшают волнистость фотошаблонов, минимизируя нежелательные отклонения и позволяя производителям наносить передовые покрытия.
Источник: iXBT
