Компактные ускорители возрождают рентген-литографию для удешевления 2-нм чипов
Каждый новый технологический узел в полупроводниковой индустрии требует всё более значительных инвестиций. Современные EUV-литографы оцениваются от 200 млн USD за единицу, не считая затрат на эксплуатацию, что сопоставимо со стоимостью небольшого завода. В таких условиях любая альтернатива, обещающая существенное сокращение расходов, моментально привлекает внимание. . Американская компания Substrate представила именно такую альтернативу: команда заявила, что...









