Издание CNews обнародовало финансовые подробности приобретения отечественной литографической установки «Прогресс СТП-350», разработанной Зеленоградским нанотехнологическим центром (ЗНТЦ). Согласно имеющемуся коммерческому предложению, базовая стоимость системы составляет 392 млн рублей без учета НДС. В случае приобретения расширенного пакета сервисной поддержки и дополнительной пятилетней гарантии инвестиции в комплекс возрастают до 561 млн рублей.
Данный аппарат, созданный в кооперации с белорусским предприятием «Планар», предназначен для формирования структур по топологическим нормам 350 нм и поддерживает работу с кремниевыми пластинами диаметром 150 и 200 мм. Пропускная способность оборудования достигает 63 подложек в час (для формата 150 мм). Производственный цикл и поставка литографа занимают 18 месяцев с даты внесения 50-процентного авансового платежа. За отдельную плату заказчикам доступны модули активной виброзащиты (40 млн рублей) и комплекты прецизионных фотошаблонов (12 млн рублей).
Отраслевые аналитики характеризуют ценовую политику производителя как весьма конкурентоспособную: стоимость российской установки значительно ниже цен на зарубежное оборудование со схожим функционалом. Несмотря на то, что технология 350 нм не является флагманской в мировом масштабе, переход к серийному выпуску собственных литографов выступает фундаментом для достижения технологической независимости. В дальнейших планах ЗНТЦ значится разработка систем следующего поколения для литографии 130 нм, ориентировочная стоимость которых может составить около 6 млн долларов.
Источник: iXBT
