Зеленоградское предприятие «Микрон», входящее в состав группы «Элемент», одержало победу в тендере Минпромторга на проектирование инновационной автоматизированной системы «Лучник». Данный комплекс предназначен для прецизионного контроля совмещения топологических слоев — критически важной операции в микроэлектронном производстве. Стоимость реализации госконтракта оценивается в 1,56 млрд рублей. Новое оборудование должно обеспечить безупречную точность позиционирования слоев при формировании структур на кремниевых пластинах, став полноценной отечественной альтернативой американской установке ARCHER 10 XT от технологического гиганта KLA Tencor.
Технические параметры «Лучника» предполагают работу с подложками диаметром 150 и 200 мм при соблюдении проектных норм до 130 нм. Ожидаемая производительность системы составит не менее 75 пластин в час. Для достижения максимальной достоверности измерений и мгновенной корректировки производственного цикла в установку интегрируют высокоточные интерферометры и интеллектуальные алгоритмы машинного зрения.
Создание подобного комплекса требует синергии фундаментальной оптики, сверхточной механики и специализированного программного обеспечения. В частности, разработчикам предстоит реализовать нанометровую точность перемещения предметного стола и спроектировать объективы с предельно высокой числовой апертурой. С учетом того, что разработка ведется с нуля, установленный срок завершения работ — июль 2029 года — является крайне амбициозным и жестким дедлайном.
Важным конкурентным преимуществом «Микрона» выступает его дуальная роль: завод одновременно является и разработчиком оборудования, и его конечным пользователем. Наличие действующих мощностей по выпуску 200-мм пластин позволит инженерам проводить оперативную верификацию прототипов в реальном производственном цикле, что кратно повышает вероятность успешного завершения проекта «Лучник».
Источник: iXBT
