Литографические установки ASML традиционно ассоциируются с выпуском полупроводников, однако специалисты исследовательского центра IMEC нашли этим дорогостоящим системам принципиально иное применение, не связанное с микросхемами. Оказалось, что оборудование идеально подходит для формирования так называемых нанопор.
Нанопоры представляют собой микроскопические отверстия в различных материалах, диаметр которых измеряется единицами или десятками нанометров. Чтобы наглядно описать масштаб, топ-менеджер ASML привел сравнение с человеческим волосом: такие структуры в 10 000 раз тоньше его сечения.
В современной биомедицине нанопоры востребованы для решения множества высокотехнологичных задач — от секвенирования ДНК и разработки биосенсоров до создания систем адресной доставки лекарственных препаратов.
Команда IMEC открыла впечатляющие перспективы использования возможностей EUV-литографии ASML с высоким разрешением в сфере здравоохранения: изготовление твердотельных «нанопор».
Эти микроскопические каналы выступают в роли своеобразных молекулярных детекторов. Когда через отверстие проходит одиночный объект — например, вирус, белок или цепочка ДНК, — он провоцирует возникновение электрических сигналов, которые можно зафиксировать и детально проанализировать.
До недавнего времени создание подобных структур оставалось медленным и крайне затратным процессом, возможным лишь в рамках штучных лабораторных экспериментов.
Однако специалисты IMEC разработали технологию промышленного масштабирования с помощью литографии в глубоком ультрафиолете (EUV). Это позволяет печатать стабильные и высокоточные массивы нанопор на 300-миллиметровых подложках из нитрида кремния. Свои достижения исследователи представили на престижной конференции IEEE International Electron Devices Meeting 2025.
Реализация данной концепции означает, что нанопоры перейдут из разряда академических изысканий в реальную клиническую практику. Это станет фундаментом для диагностики следующего поколения, прорыва в геномике, снижения стоимости анализов, развития персонализированной терапии и даже технологий молекулярного хранения данных.
Таким образом, ключевая ценность открытия IMEC заключается не просто в нестандартном использовании сканеров ASML, а в переходе к полноценному серийному производству наноструктур.
Источник: iXBT
